Eski adı Behram Paşa Hamamı olan ve Behram Paşa Vakfı’na ait Paşa Hamamı, cami, mescit ve medrese ile birlikte 1564-1567 tarihleri arasında yapılmış. Evliya Çelebi bu hamamın “çok itina ile Gazze ve Kudüs’ten getirilen ustalarla yapıldığı, mermerleri ile göz alıcı olduğu, Şam’da Defterdar Hamamı ve Mısır’da Osman Bey Hamamı ile yarıştığından” söz etmiş.

Hamam, kuzey-güney yönünde dikdörtgen biçimde konumlanmış. Güney tarafındaki yoğun sokaktan erkekler için ve batı yönünde kadınlar için, iki kapıdan giriliyor. Taşlık görevi gören avlusu Diyarbakır’da sadece Paşa ve Kadı hamamlarında mevcut. Soğukluğun giriş kapısının iki tarafındaki pencereler de özgün. Pencere sövelerinde yer alan sütun başlığı ve gövde kısmı, bitkisel ve geometrik süslemelerle donatılmış. Soğuklukta kare formlu, betondan yapılan havuz zaman içinde değişmiş. Kubbe dıştan sekizgen kasnaklı, ortasında ise sekizgen aydınlık feneri yer alıyor.