Camiatik Mahallesi üzerinde yer alan Ayaş Tarihi Paşa Hamamı, Ulu Cami’nin hemen yanında konumlanmaktadır. Selçuklular zamanında inşa edilmiş olup, günümüzde müze olarak kullanılmaktadır.
Hamam, kaba yonu taşı ile inşa edilmiştir. Kitabesi ve vakfiyesi bulunmamaktadır. Dikdörtgen planlı hamamın sağ tarafında L şeklinde dizilmiş soyunma odaları yer almaktadır.
Girişin sol tarafında yer alan kapıdan ılıklık bölümüne geçilmektedir. Ilıklık bölümünden ise sekizgen planlı sıcaklık bölümüne geçiş yapılmaktadır.
Ayaş Tarihi Paşa Hamamı’na giriş ücretsizdir.